ITO靶材
發布時間：2017/08/10
1、氧化銦錫靶材純度≥99.99%；
2、氧化銦錫靶材致密度≥99.5%；
3、氧化銦錫靶材電阻率≤0.14 mΩ·cm；
4、物理規格：呈片狀或其他形狀，其尺寸及偏差由供需雙方商定；
5、外觀顏色均勻；表面平整，無裂紋，無崩邊崩角，且無任何外來夾雜物和污染物；
6、內部缺陷：內部無裂紋，無異物。
本項目采用清華大學化工聯合國家重點實驗室最新研發的注漿-氣氛燒結法先進生產工藝制備納米氧化銦錫高性能靶材，同時項目在納米氧化銦錫前驅體制備階段創造性地采用了微反應器技術。主要工藝如下：
